硅片無(wú)氧烘箱,半導體厭氧烤箱,在工作時(shí),工作室內充滿(mǎn)了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……
硅片無(wú)氧烘箱,半導體厭氧烤箱? 概述
硅片無(wú)氧烘箱,半導體厭氧烤箱,在工作時(shí),工作室內充滿(mǎn)了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……
技術(shù)參數
主要技術(shù)指標
Ø 含氧量:< 100ppm;
Ø 溫度范圍: RT(室溫)+10~ +200℃;
Ø 溫度均勻度:±1℃;
Ø 溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
Ø 溫控精度:0.1℃
箱體結構
烘箱擱板為活動(dòng)形式。
Ø 溫控裝置:智能LED雙數顯高精度溫度控制系統,控溫精度±1℃,溫度為室溫至300℃任意調節,并具有PID自整定,自動(dòng)恒溫等功能
Ø 超溫保護:獨立配置超溫保護儀,超過(guò)溫度上限,自動(dòng)報警并主動(dòng)切斷加熱
Ø 固態(tài)輸出:SSR無(wú)觸點(diǎn)繼電器模塊,靈敏度高,壽命長(cháng)
Ø 測溫裝置:不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器,精確測溫,放心使用
Ø 定時(shí)裝置:高精度數顯自動(dòng)定時(shí)器,0-99.99小時(shí)恒溫時(shí)間設定,可預設烘烤時(shí)間
Ø 報警系統:APT/AD16型聲光報警系統,時(shí)間到聲光報警并自動(dòng)切斷加熱
Ø 電器元件:采用電器
Ø 安全裝置:漏電,短路,過(guò)載保護;鼓風(fēng)電機過(guò)載缺相保護