硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱 工業(yè)烘箱

硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱概述

硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

參數

主要技術(shù)指標

Ø  無(wú)塵等級：Class 100;     

Ø  溫度均勻度：±2℃;    

Ø  溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）；        

Ø  溫控精度：±0.1℃;

Ø  進(jìn)風(fēng)口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計控制;

排風(fēng)口： φ3”排風(fēng)管（外接φ5＂法蘭）;

箱體結構

a)   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過(guò)濾器及風(fēng)道系統組裝而成

結構合理，外觀(guān)美觀(guān)大方；

b)   箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，可防止微塵；

c)   內膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿 性蘇打水清潔

去油污避免烘烤PARTICLE；

完善的安全保護措施

漏電斷路器、控制線(xiàn)路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置（上限220℃）、 電熱過(guò)電流保護裝置、馬達過(guò)電流保護、 反向保護裝置、內襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)。