SECS/GEM協(xié)議無(wú)塵烘箱，無(wú)塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。
SECS/GEM協(xié)議無(wú)塵烘箱，無(wú)塵烤箱概述
SECS/GEM協(xié)議無(wú)塵烘箱，無(wú)塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。設備可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進(jìn)行監控和控制。
特點(diǎn)
Ø SECS / GEM是用于設備到主機數據通信的半導體設備接口協(xié)議。在自動(dòng)化工廠(chǎng)中，接口可以啟動(dòng)和停止設備處理，收集測量數據，更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS（SEMI設備通信標準）/ GEM（通用設備模型）標準以確定的方式完成所有這些工作。
Ø 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
Ø 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；
Ø 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，高溫度控制精度。
技術(shù)參數
1.主要技術(shù)指標
Ø 無(wú)塵等級：Class 100/10;
Ø 溫度均勻度：±2℃;
Ø 溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）；
Ø 溫控精度：±0.1℃;
Ø 進(jìn)風(fēng)口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計控制;
Ø 排風(fēng)口： φ3”排風(fēng)管（外接φ5＂法蘭）;
Ø 網(wǎng)板：2-5層，
Ø 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度
