PI真空固化烤箱，水冷卻PI固化爐用于光刻膠BCB，聚酰亞胺PI固化，晶圓干燥烘烤等工藝
PI真空固化烤箱，水冷卻PI固化爐特點(diǎn)
PI固化爐用于光刻膠BCB，聚酰亞胺PI固化，晶圓干燥烘烤等工藝，主要用于集成電路、化合物半導體、MEMS微機電、TFT/LCD等半導體相關(guān)行業(yè)。
通用性，全自動(dòng)運行真空固化，2寸-12寸/碎片兼容。
保證性強，可達5PPM氧氣下實(shí)現真空固化。
時(shí)效性，多功能冷卻方式，縮短了工藝時(shí)間，降低成本，提高生產(chǎn)能力。
能耗低，真空狀態(tài)固化，節約了80%N?量。
無(wú)污染，腔體內部所有材料均為316L醫用級不銹鋼，無(wú)任何顆粒產(chǎn)生。
PI真空固化烤箱，水冷卻PI固化爐性能
溫度：MAX400度
真空度：低于100Pa
操作：彩色人機界面，一鍵運行
冷卻方式：水冷卻+風(fēng)冷
氣路：1路N2
程序模式：程序運行10個(gè)，每個(gè)程序可設置25步
隔熱材料：陶瓷纖維
工作腔：1/2/4/8可選
PI固化爐工藝流程要求（參考）：
在低氧狀態(tài)下使用
真空加熱，升溫至1xx℃
再溫至1xx℃(約xh),保溫約 30min;
繼續升溫至x00℃，視涂層厚度不同加熱10-x0min
保溫 約60min；
降溫至100℃以下
無(wú)氧烘箱（BCB固化爐），真空無(wú)氧烘箱（PI固化爐），無(wú)塵烘箱，HMDS烘箱，硅烷蒸鍍機，無(wú)塵無(wú)氧烘箱，氮氣烘箱，鼓風(fēng)真空烘箱，高精度熱板，超低溫試驗箱，快溫變試驗箱，恒溫恒濕試驗箱，高低溫沖擊試驗箱等設備，以及非標定制。---上海雋思儀器專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)/服務(wù)
