塑封固化專(zhuān)用潔凈烘箱

塑封固化專(zhuān)用潔凈烘箱使用要求

   塑封固化：注塑完成后，工件轉移至固化加熱爐，采用自動(dòng)加熱的方式對其進(jìn)行保溫固化，固化溫度維持在 175℃，固化時(shí)間為 8 小時(shí)。塑封固化的主要作用是消除塑封料內部的應力。此過(guò)程主要污染物：固化有機廢氣。

塑封固化專(zhuān)用潔凈烘箱性能

   潔凈烘箱，百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

 潔凈等級：Class 100;     

溫度范圍：RT+10～250/450℃；
 溫度均勻度：±1.5%℃;    

溫度波動(dòng)度：±1℃（空載）；        
 溫控精度：0.1℃;

內腔尺寸：600*600*500(mm)，可定制尺寸、多箱體一體式；

潔凈烘箱耐高溫高效空氣過(guò)濾器(HEPA)

a、內部 100 級潔凈過(guò)濾器，采用耐高溫高效過(guò)濾器使用有隔板設計，波紋形隔板可以精確地保持褶層間距

b、在最小阻力下，最大限度地利用濾料，過(guò)濾器濾材兩面 180 褶翻褶形褶層，濾料折彎時(shí)有兩道壓痕

c、使其在隔板的尾端開(kāi)成鍥形盒式褶層，鍥形盒式褶層可以防止濾料破損

d、特點(diǎn)：

效率高、阻力低、容塵量大；

外框材質(zhì)：不銹鋼;

濾料：超細玻璃纖維濾紙;

隔板：鋁箔;

過(guò)濾效率：≥99.99%;

顯示直觀(guān)，操作簡(jiǎn)單