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氮氣烘箱,四箱氮氣烤箱,不銹鋼充氮烘箱

氮氣烘箱,四箱氮氣烤箱,不銹鋼充氮烘箱

簡(jiǎn)要描述:

氮氣烘箱,四箱氮氣烤箱,不銹鋼充氮烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

氮氣烘箱,四箱氮氣烤箱,不銹鋼充氮烘箱用途:

  氮氣烘箱,不銹鋼充氮烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

氮氣烘箱,四箱氮氣烤箱,不銹鋼充氮烘箱技術(shù)參數:

1.名稱(chēng):精密充氮烘箱(JS-DJQ)

2、主要技術(shù)指標:

2.1溫度范圍: RT+10~250、350/450℃;

2.2溫度均勻度:≤±1.5%℃;

2.3升溫速度:0-10℃/min;

2.4潔凈度:無(wú)發(fā)塵材料,可達使用環(huán)境潔凈等級;

2.5工作尺寸:4545450mm,600×W700×H800mm;多尺寸可定制

2.6電源:AC220V、380V/50HZ, 4.0KW ;

2.7 計時(shí)功能:具有獨立的計時(shí)器,計時(shí)復位開(kāi)關(guān),計時(shí)報警器;

2.8 進(jìn)氣口:φ6mmN2進(jìn)氣、流量計控制0-250ML可調;

2.9 安全保護功能:超溫保護,電機過(guò)熱保護,過(guò)流保護,電磁門(mén)鎖(防止高溫開(kāi)門(mén)),三色燈指示。

選配功能:

氧濃度:≤10PPM;

潔凈度:class100;

降溫功能:水冷+風(fēng)冷

自動(dòng)化系統:MES,GEM等智能系統;


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