不銹鋼無(wú)塵烤箱,雙層無(wú)塵烘箱應用于目前關(guān)鍵的半導體電子行業(yè)(如硅片干燥,堅膜烘烤,裝片機后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,雙層無(wú)塵烘箱還在LED制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無(wú)機材料行業(yè)中用于材料高精度工序。
不銹鋼無(wú)塵烤箱,雙層無(wú)塵烘箱應用范圍
不銹鋼無(wú)塵烤箱應用于目前關(guān)鍵的半導體電子行業(yè)(如硅片干燥,堅膜烘烤,裝片機后道烘烤,塑封后烘烤,治具烘烤等),另外,雙層無(wú)塵烘箱還在LED制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無(wú)機材料行業(yè)中用于材料高精度工序。也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、MEMS、智能傳感器、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
不銹鋼無(wú)塵烤箱,雙層無(wú)塵烘箱技術(shù)性能
內腔尺寸:300*300*300;450*450*450;500*600*700;800*800*900......定制尺寸;?
腔體數量:1-8個(gè)可選,每腔單獨控制;?
材質(zhì):內箱:SUS304不銹鋼或SUS316不銹鋼,外箱材質(zhì):冷軋板噴塑,或304不銹鋼;?
操作系統:LED數字控制,多彩觸摸屏式控制,人機界面+PLC控制,自動(dòng)化智能控制(MES)等;?
無(wú)塵等級:Class 100;
無(wú)氧功能:≤20PPM;?(選配)
輔助降溫功能:風(fēng)冷、水冷;?(選配)
工業(yè)智能系統:MES系統、 SECS / GEM系統;?(選配)
掃碼槍?zhuān)?作業(yè)時(shí)掃碼可實(shí)現自動(dòng)調取所需作業(yè)程序;?
溫度范圍:RT+10~200、300℃、450℃;
溫度均勻度:≤±2%℃;
溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載);
溫控精度:±0.1℃;
進(jìn)氣口:φ8mmN2進(jìn)氣;
排風(fēng)口:耐高溫不銹鋼排風(fēng)口;
電源:380v , 50Hz三相五線(xiàn)制。