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百級無(wú)塵烘箱,不銹鋼無(wú)塵烤箱 工業(yè)烘箱

百級無(wú)塵烘箱,不銹鋼無(wú)塵烤箱 工業(yè)烘箱

簡(jiǎn)要描述:

百級無(wú)塵烘箱,不銹鋼無(wú)塵烤箱用于IC生產(chǎn)中前烘、后烘烤、堅膜、裝片機后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。

 

百級無(wú)塵烘箱,不銹鋼無(wú)塵烤箱性能
控制界面:彩色液晶觸摸屏/LED按鍵控制儀表;
運行方式:可程式運行/定值運行;
內箱材質(zhì):SUS304不銹鋼;
外箱材質(zhì):SUS304不銹鋼;
無(wú)塵等級:Class 100;     
溫度范圍:RT+10~200/300/400℃;    
溫度波動(dòng)度:±0.5℃;        
溫控精度:±0.1℃;
進(jìn)氣口:φ8mmN2進(jìn)氣、流量計控制;  
降溫方式:風(fēng)冷;
工作室尺寸:D800×W900×H900(mm);(可自定尺寸)      
網(wǎng)板:2-4層;
 潔凈度:100級的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。
 
百級無(wú)塵烘箱,不銹鋼無(wú)塵烤箱特點(diǎn)
1.優(yōu)質(zhì)HEPA過(guò)濾器,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;
2.全周氬焊無(wú)縫焊接,無(wú)發(fā)塵不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用特殊的送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統,風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節能溫度均勻性好,過(guò)濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結構,溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到*溫度控制精度。
無(wú)塵烤箱的應用
     無(wú)塵烤箱、潔凈烘箱用于IC生產(chǎn)中前烘、后烘烤、堅膜、裝片機后端烘烤、塑封封裝烘烤、光刻膠固化、治具干燥、薄膜烘烤、硅片干燥等工藝。主要應用范圍有電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

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