真空固化烤箱，防氧化真空系統用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火，PR膠排膠固化等工藝。廣泛應用于半導體、電子產(chǎn)品、醫療衛生等行業(yè)，適用于工廠(chǎng)、高等院校、科研等場(chǎng)所。
一、真空固化烤箱，防氧化真空系統用途
無(wú)氧真空系統用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火，PR膠排膠固化等工藝。廣泛應用于半導體、電子產(chǎn)品、醫療衛生等行業(yè)，適用于工廠(chǎng)、高等院校、科研等場(chǎng)所。
二、真空固化烤箱，防氧化真空系統技術(shù)性能參數
1、設備名稱(chēng)： | |
名稱(chēng) | 無(wú)氧真空系統 |
2、設備型號： | |
型號 | JS-GYZF系列 |
3、設備主要技術(shù)參數： | |
3.1 工作室尺寸 | 450×450×450，600×600×600（mm） |
3.2 材質(zhì) | 內箱采用316L醫用級不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑 |
3.3 溫度范圍 | RT+10-300/450℃ |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ |
3.5 溫度波動(dòng)度 | ≤±1℃ |
3.6 溫度均勻度 | ≤2%MFS |
3.7 升溫速率 | ≤10℃/min |
3.8 降溫速率 | 特殊要求數據 |
3.9 真空度 | ≤133pa或要求數據 |
3.10 電源及總功率 | AC220V、 380V±10% / 50HZ |
3.11 溫度控制儀表 | 可編程觸摸屏儀表，可校準溫度，PID自整定等功能 |
3.12擱板層數 | 316L不銹鋼托盤(pán)2層，配有限位裝置 |
3.13真空泵 | 油泵/干泵 |
3.14 腔門(mén)密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈 |
3.15 狀態(tài)指示燈 | 配有三色指示燈及蜂鳴器來(lái)提示機臺運行狀態(tài) |
3.16 氧含量 | 特殊要求數據 |
3.17 潔凈度 | Class100、1000級 |
3.18 降溫系統 | 選配 |
3.19 氮氣控制 | 工藝要求 |
3.20 安全保護裝置 | 安全的接地保護裝置，超溫保護及報警裝置，漏電保護裝置。 |
