無(wú)塵烘箱，MES百級烘箱

溫度范圍

室溫＋10℃～250℃

溫度波動(dòng)度

±0.5℃

溫度均勻度

≤±2℃

溫度過(guò)沖

≤5℃

工作室尺寸（單腔）

根據要求定制

潔凈度（class）

100級（符合FED-STD209E 標準）

功率

根據內部尺寸而定

氣流控制方式

強制循環(huán)通風(fēng)，控制系統根據設定之溫度點(diǎn)通過(guò)PID 自動(dòng)運算輸出的結果去控制加熱器的輸出量，終達到平衡

氣流循環(huán)裝置

內置空調間、循環(huán)風(fēng)道及通風(fēng)電機

加熱方式

優(yōu)質(zhì)不銹鋼加熱器

隔板

每個(gè)腔體配二個(gè)隔板，用不銹鋼板沖孔制成

箱體外壁材料

冷軋鋼板靜電噴塑

箱體內壁材料

為不銹鋼板內壁氬弧焊（SUS316 或SUS304）

保溫材料

優(yōu)質(zhì)超細納米玻璃棉

氮氣接口

能將箱內空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進(jìn)行；氮氣流量計需安裝在箱體的正面，進(jìn)氣口安裝在箱體的后部，

電磁門(mén)鎖功能

有定時(shí)開(kāi)啟門(mén)鎖功能，設備裝有電磁鎖和定時(shí)器，設備運行時(shí)電磁鎖動(dòng)作將門(mén)鎖住，當定時(shí)時(shí)間到后電磁鎖斷電將門(mén)打開(kāi)，同時(shí)進(jìn)行聲光提醒（注：定時(shí)器只控制電磁鎖和聲光提醒器，不需控制加熱器和電機）。設備還裝有自動(dòng)/手動(dòng)定時(shí)開(kāi)關(guān)，可在不需定時(shí)的時(shí)候手動(dòng)開(kāi)啟電磁鎖（定時(shí)器具有復位功能

超溫保護裝置

采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當保護裝置動(dòng)作時(shí)自動(dòng)切斷加熱電源并進(jìn)行聲光報警、超溫保護控制儀采用LED 顯示控制器

計時(shí)方式

溫度達到工藝設定值時(shí)開(kāi)始計時(shí)，并在計時(shí)結束時(shí)有蜂鳴提示

排風(fēng)口

直徑50mm的排風(fēng)口,安裝有調節閥

腔門(mén)密封性

密封條耐高溫>300℃

接地安全

安全保護，接地線(xiàn)

電氣安全保護

風(fēng)機過(guò)載保護;加熱系統超溫保護

MES接口

MES接口,可連接MES系統

管理生產(chǎn)單元有關(guān)的記錄和表格，包括工作指令、配方、工程圖紙、標準工藝規程、零件的數控加工程序、批量加工記錄、工程更改通知以及班次間的通訊記錄，并提供了按計劃編輯信息的功能。

能通過(guò)數據采集接口來(lái)獲取生產(chǎn)單元的記錄和表格上填寫(xiě)的各種作業(yè)生產(chǎn)數據和參數。

提供工件在任一時(shí)刻的位置和狀態(tài)信息。其狀態(tài)信息可包括：進(jìn)行該工作的人員信息；按供應商劃分的組成物料、產(chǎn)品批號、序列號、當前生產(chǎn)情況、警告、返工或與產(chǎn)品相關(guān)的其它異常信息。

以作業(yè)、訂單、批量、成批和工作單等形式管理生產(chǎn)單元間工作的流動(dòng)。