無(wú)塵高溫烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無(wú)塵高溫烘箱
特點(diǎn)
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制精度。
無(wú)塵高溫烘箱
技術(shù)參數
無(wú)塵等級：Class 100;
溫度范圍：RT+10～200℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：自定義（mm）
電源：380v , 50Hz，
網(wǎng)板：2塊（高度可調節)
箱體結構：
1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統組裝而成，結構合理，外觀(guān)美觀(guān)大方；
2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；
3箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；
4內膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
