堅膜無(wú)塵烤箱，半導體無(wú)塵烘箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過(guò)程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
堅膜無(wú)塵烤箱，半導體無(wú)塵烘箱概述
無(wú)塵烤箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過(guò)程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
?堅膜無(wú)塵烤箱特點(diǎn)
1、 烤箱用于半導體車(chē)間100級生產(chǎn)線(xiàn)；
2、 設備能夠實(shí)現對CASETTE內硅片烘烤工藝；
3、 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
4、 開(kāi)機后墻體內一直處于恒溫狀態(tài)；
5、 強制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到高精度溫度控制；
?6、操做人員放入產(chǎn)品后關(guān)門(mén)，點(diǎn)擊開(kāi)始按鈕即可一鍵完成菜單工藝，完成后伴有聲光提示。
堅膜無(wú)塵烤箱，半導體無(wú)塵烘箱技術(shù)參數
1、 無(wú)塵等級：Class 100;
2、 溫度均勻度：±2℃;
3、 溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）；
4、 溫控精度：±0.1℃;
5、 溫度范圍：RT+10-200/300℃;
?6、 升溫速率：?≥8?℃/min（可修改）?；
?7、 內腔材質(zhì)：SUS304＃鏡面不銹鋼；
?8、 外箱材質(zhì)：優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或SUS304＃不銹鋼；?
?9、 密封條：耐高溫氟橡膠密封條；
?10、氮氣裝置：可調式浮子流量計；
?11、安全裝置：漏電保護，超溫保護，三色提示燈等。
