晶圓精密循環(huán)烤箱,硅片循環(huán)烘箱是一種高功能、高信賴(lài)度烤箱,結構、材質(zhì)強度、保溫、循環(huán)風(fēng)道等均設計精良,且外形美觀(guān)、操作方便??諝庋h(huán)系統為水平式循環(huán)送風(fēng),風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,如此可得到較佳的溫度均勻性,均勻度可達±1.5%,當門(mén)開(kāi)、關(guān)動(dòng)作引起擾動(dòng)時(shí),可借此送風(fēng)循環(huán)系統迅速回復操作狀態(tài)溫度值。
晶圓精密循環(huán)烤箱,硅片循環(huán)烘箱概述
晶圓精密循環(huán)烤箱,硅片循環(huán)烘箱是一種高功能、高信賴(lài)度烤箱,結構、材質(zhì)強度、保溫、循環(huán)風(fēng)道等均設計精良,且外形美觀(guān)、操作方便??諝庋h(huán)系統為水平式循環(huán)送風(fēng),風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,如此可得到較佳的溫度均勻性,均勻度可達±1.5%,當門(mén)開(kāi)、關(guān)動(dòng)作引起擾動(dòng)時(shí),可借此送風(fēng)循環(huán)系統迅速回復操作狀態(tài)溫度值。
用途
精密循環(huán)烤箱適用于烘烤有化學(xué)性氣體欲烘烤物品、基板應力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。廣泛使用于PCB、電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、印刷、噴涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高溫去應力、老化、烘干、定型、加工等。
參數
Ø 內置強制送風(fēng)循環(huán),風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部, 且將使用后熱風(fēng)吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,由此減小能量損耗并保證箱內的溫度均勻性,當門(mén) 開(kāi)、關(guān)動(dòng)作 引起擾動(dòng)時(shí),可借此送風(fēng)循環(huán)系統迅速回復操作狀態(tài)溫度值,配置可調進(jìn)出氣口,風(fēng)路循環(huán)順暢,換氣快,避免可燃氣體的濃度過(guò)高造成自燃爆炸。
Ø 馬達為中國臺灣進(jìn)口長(cháng)軸耐高溫型
Ø 超高溫保護:當箱內溫升異常時(shí),自動(dòng)切斷整機電源。
Ø 瓷質(zhì)保險絲。
Ø 馬達過(guò)熱保護:防止電機過(guò)熱造成電機損傷,
Ø 相序保護:防止電力缺相和相序錯誤,保證電機的安全。
Ø 計時(shí)器,蜂鳴器提示,保證工作時(shí)間的準確。