HMDS蒸鍍系統，無(wú)塵HMDS烤箱?通過(guò)對烘箱預處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關(guān)行業(yè)。
HMDS蒸鍍系統，無(wú)塵HMDS烤箱概述
HMDS蒸鍍系統，無(wú)塵HMDS烤箱通過(guò)對烘箱預處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料預處理及相關(guān)行業(yè)。
特點(diǎn)
Ø 更加節省藥液：實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多。
Ø 更加環(huán)保和安全：HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會(huì )出現反胃、嘔吐、腹痛、呼吸道等，由于整個(gè)過(guò)程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會(huì )有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機，所以也不會(huì )對環(huán)境造成污染。
Ø 自動(dòng)吸取HMDS功能：智能型的程式設定，一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。
技術(shù)參數
Ø 材質(zhì)： 外箱采用304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內箱采用316L醫用級不銹鋼
Ø 電源及總功率：AC 220V±10% / 50HZ 總功率約2.5KW
Ø 控制儀表：人機界面
Ø 擱板層數：2層
Ø HMDS控制：可控制HMDS藥液的添加量
Ø 真空泵：旋片式油泵或進(jìn)口無(wú)油泵
Ø 保護裝置： 超溫保護，漏電保護，過(guò)熱保護等
Ø 加熱系統：由于工藝的整個(gè)過(guò)程都需要在200℃左右的環(huán)境下進(jìn)行，所以自始至終加熱系統都在工作。本系統采用在腔內分布兩塊獨立的熱板來(lái)實(shí)現加熱，每個(gè)熱板都采用人工智能PID調節儀實(shí)現閉環(huán)控制，調節儀控制固態(tài)繼電器的輸出從而實(shí)現溫度的精確穩定控制，測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
