充氮烤箱

充氮烤箱概述

用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

充氮烤箱結構

烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統組裝而成，結構合理，外觀(guān)美觀(guān)大方；
箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
內膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；

性能

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*溫度控制精度。

技術(shù)參數

潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。

M計裝可編程控制1模式20步驟，zui多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。簡(jiǎn)單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設定動(dòng)作的程序運行。標準配置溫度過(guò)升防止器。