百級烘箱，百級無(wú)塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
百級烘箱，百級無(wú)塵烘箱用途:
百級烘箱，百級無(wú)塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結構，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制精度。
技術(shù)參數：
1.主要技術(shù)指標：
無(wú)塵等級：Class 100;
溫度范圍：RT+10～200℃；
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：W500×D600×H500（mm）
電源：380v , 50Hz，5KW
網(wǎng)板：2塊（高度可調節)
潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。
M計裝可編程控制1模式20步驟，zui多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。
簡(jiǎn)單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設定動(dòng)作的程序運行。標準配置溫度過(guò)升防止器。
2、箱體結構：
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統組裝而成，結構合理，外觀(guān)美觀(guān)大方；
箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
內膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE；
3、完善的安全保護措施：
漏電斷路器、控制線(xiàn)路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過(guò)電流保護裝置、馬達過(guò)電流保護、 機臺異常蜂鳴器逆向防止器、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)。
