HMDS烘箱，hmds預處理烘箱

將HMDS涂到樣品表面后，經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物，將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷?，此疏水性能夠很好的與光刻膠結合，增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。

HMDS烘箱，hmds預處理烘箱系統結構：

整個(gè)系統由加熱、真空系統、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成

加熱模塊

    由于工藝的整個(gè)過(guò)程都需要在150℃左右的環(huán)境下進(jìn)行，所以自始至終加熱系統都在工作。

    本系統采用在腔內分布兩塊獨立的熱板來(lái)實(shí)現加熱，每個(gè)熱板都采用人工智能PID調節儀實(shí)現閉環(huán)控制，調節儀控制固態(tài)繼電器的輸出從而實(shí)現溫度的精確穩定控制，測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。

真空模塊

   由機械泵、真空組件、真空測量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余HMDS蒸汽。

充氮模塊

   作用是在置換過(guò)程中，用氮氣來(lái)逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽，從而zui終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。

   主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。

HMDS烘箱，hmds預處理烘箱控制模塊

    控制模塊是本系統的核心模塊，它的作用是控制各個(gè)模塊的動(dòng)作和時(shí)序，完成整個(gè)工藝過(guò)程。它主要由人機界面，CPU控制中心，控制接口和輸出部件，報警等5部分組

成。

  人機界面采用φ100mm松下觸摸屏來(lái)實(shí)現參數、狀態(tài)等界面的顯示和參數的設定輸入。PLC采用松下的FP0系列小型化PLC。

軟件組成

整個(gè)控制軟件共分4個(gè)部分，即自動(dòng)運行、手動(dòng)控制、參數設定、幫助。

當按下自動(dòng)運行鍵后，畫(huà)面轉換到運行畫(huà)面，顯示當前的工藝狀態(tài)，運行時(shí)間等，同時(shí)系統開(kāi)始運行。